YYVIP易游卓海科技申请接触式轮廓仪双镜头检测装置专利检测结果更加可靠

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　　金融界 2024 年 9 月 18 日消息，天眼查知识产权信息显示，无锡卓海科技股份有限公司申请一项名为“接触式轮廓仪双镜头检测装置“，公开号 CN3.X，申请日期为 2024 年 8 月。

　　专利摘要显示，本发明属于晶圆刻蚀图形检测技术领域，公开了一种接触式轮廓仪双镜头检测装置，包括设置于晶圆载台的上方的安装板，安装板上设置有测试探头，测试探头上设置有用于与晶圆载台上的晶圆接触的探针，测试探头的上方设置有俯视镜头，俯视镜头的聚焦点为晶圆上的刻蚀图形，以初步判断刻蚀图形的质量；测试探头的一侧设置有侧视镜头，侧视镜头的聚焦点为探针的针尖，以判断探针是否接触到晶圆及探针的测试位置是否准确。该接触式轮廓仪双镜头检测装置既可以对刻蚀图形质量作出初步判断，又可以实时清楚观察到探针是否接触到晶圆，同时也可以判定测试探头的位置是否准确，相比于单摄像头而言图像显示更加全面，检测结果更加可靠。

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