YYVIP易游光谱椭偏仪-SE200

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　　战略合作 江苏集萃中科光电技术研究所有限公司与智翼博智能科技(苏州)有限公司达成战略合作

　　完美收官 集萃中科光电CIOE2025：以创新光学测量技术，赋能智造新时代！

　　完美收官 集萃中科光电闪耀无锡半导体展：以精密光学技术，助力“中国芯”崛起！

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　　集萃中科光电光谱椭偏仪SE-200是一款自主研发的先进光学测量设备，专为高精度、高效率的材料光学特性分析而设计。它能够自动快速、准确地测量材料的折射率、消光系数和膜厚，适用于科研、半导体、光伏、光学镀膜、显示面板等领域的薄膜与材料表征需求。

　　光强选择： 线性光密度光选。保证测试过程中极佳信噪比，提升测试精度；既防止光 强过强引起的光强截止，又防止光强不够引起的信噪比过低，影响测试精 度；

　　光路设计： 偏振光学主体由双光纤连接至光源及光谱仪系统；光路稳定，且方便更换 寿命到期的灯泡；

　　微细光斑： 直径≤200μm，达到分离透明及半透明衬底前后表面光斑的效果；微细 光斑装置可自由拆卸；

　　冷却系统： 微型TE制冷，制冷温度可达环境下温度30℃，制冷温度可通过软件设置；

　　积分方式： 软件智能化设置积分时间，以最佳信噪比获得高强度信号和弱信号；

　　储存空间： 具有EEPROM 64组光谱数据存储空间，可由光谱仪单独存储后一次性 输入计算机，减少单次传输过程时间损耗；

　　线性矫正： 具有光谱全域线性矫正功能，线性矫正因子可由软件读出，在非线性光谱 区亦保证较高的光谱线性度；

　　灯源体： 光源系统，灯泡材质石英玻璃，波长范围350nm-2000nm，

　　散热： 能自灯源体均匀散热。不会因散热不畅引起灯泡体温度过高影响使用寿命，又不会因散热不均影响光强漂移。

　　全自动多点移动测试可自动多点移动测试，移动方式为X-Y(X-Theita极坐标可选)形移动，含Z轴自动对焦，将试片自动对焦至最佳测量位置

　　位置限定： 具有正负极限位置及零位光耦；软件设定对焦起始结束位置及对焦位移步 长；

　　对焦方式： 光学对焦；采集特殊积分时间及特殊波长下的垂直Z向移动对应的光强 曲线，利用高斯拟合，寻找最佳试片测量位置；

　　载物台面： 适用于最大12英寸规格的硅片测试，向下兼容，寻边低于3mm。

　　测量分析软件适用于Windows11操作系统（正版授权）；图形化操作界面，软件操作方便、直观

　　一键测量： 能一键测量 (完成包括对焦，光选，采集，分析在类)的全部测量流程。另外提供对焦、光选、采集、建模、回归等分步功能按钮；

　　校准归零：起偏器P、补偿器C、检偏器A、光选器F、对焦轴Z、移动轴XY有自归零位置校准功能，同时对偏振态控制器配置高精度对对编码位置锁定器，具有带隙补偿功能；