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更新时间:2026-03-30
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布鲁克DektakXT (探针式表面轮廓仪)设计创新,实现了更高的重复性和分辨率,垂直高度重复性5。这一里程碑式的产品源自于Dektak系列占据业界ling xian地位长达四十年的优异表面测量技术。实现了纳米尺度的表面轮廓测量,在微电子、半导体、太阳能、高亮度LED、触摸屏、医疗、科学研究和材料科学领域大显身手。
台阶仪性能优劣取决于以下三个方面:测试重复性、测试速度以及操作难易程度。这些因素决定了实验数据的质量和实验操作的效率。DektakXT采用全新的仪器系统构造和最优化的测量以及数据处理软件来实现可靠、快速和简单的样品检测,达到最佳的仪器使用效果。
DektakXT探针轮廓仪ling xian的设计保证了其优异的性能,测量重复性达到5埃以下。
使用单拱龙门式设计比之前的悬臂梁设计更坚固持久不易损坏,大大降低了周围环境中声音和震动噪声对测试信号的影响。
布鲁克完善了仪器的智能化电子器件,提高了工作性能的稳定性,降低了温度变化对器件的影响;系统和环境噪音引起的测量误差降低到最小。
首次采用独特高速的直接驱动扫描样品台,在不牺牲分辨率和基底噪声水平的前提下,大大缩短了每次扫描的间隔时间。从而在保证扫描质量和重复性的前提下,将数据采集处理速度提高了40%。
采用具有64位数据并行处理的软件Vision64,提高了大范围3D形貌图的处理速度。
Vision64具备有效直观的用户界面,简化了实验操作设置,可以自动完成多扫描模式,使枯燥、繁杂的实验工作变得快速简洁。
布鲁克探针式表面轮廓仪历经四十载,从传统的二维表面粗糙度和台阶高度测量,到更高级的三维表面成像和薄膜应力测试,Dektak台阶仪适用面极广,为用户提供准确性高,重复性佳的测量结果。在教育、科研领域和半导体制程控制领域,Dektak广泛用于膜厚、应力、表面粗糙度和面形的测量。
上海银雀科技成立于 1998 年,成立以来一直专注于半导体工艺设备、微纳米加工平台等领域的设备集成供应和技术服务。MEMS、3D 封装、化合物半导体、微波器件、功率器件等众多领域。目前公司已经与众多微电子、半导体设备行业的国际知名企业建立了良好的合作关系;EVG(光刻、键合)、Bruker(微纳检测)、TESCAN(扫描电镜) 是其中几家重要的合作伙伴。